品简介
半导体测试冷水机组（Chiller）是芯片封测、晶圆测试、可靠性老化测试专用高精度温控冷却设备。针对半导体测试设备热负载波动大、温度严苛、洁净室使用环境开发，为测试机台、探针台、老化炉、测试座提供稳定恒温冷却，抑制芯片测试过程发热，保证芯片电学参数测试一致性，降低温度漂移带来的测试误判，提升芯片良率与测试数据可靠性，可 7×24 小时不间断运行，适配半导体封测厂、实验室、芯片研发机构使用。
工作原理
整机采用压缩机制冷循环，搭配高精度 PID 智能温控算法，对循环冷却介质进行精准换热控温；全封闭循环管路将恒温介质输送至半导体测试工位，快速带走芯片与测试台产生的热量，实时动态补偿热负载变化，维持测试工位温度恒定。设备内置流量、压力监测模块，实时监控循环状态，同时支持风冷 / 水冷散热两种形式，满足不同车间工况安装需求。
核心优势
✅ 超高控温精度，测试数据可复现采用高精度传感器与自适应 PID 控制算法，标准机型控温精度可达 ±0.1℃，定制机型可达 ±0.05℃，抑制温度波动，避免温度漂移造成芯片测试结果偏差，保障每一批次芯片测试数据稳定、可重复。
✅ 洁净密闭循环系统，杜绝污染风险循环管路采用 304/316L 不锈钢材质，选配磁力驱动泵，无轴封渗漏风险；全密闭回路，减少介质挥发、杂质混入，适配半导体洁净车间，避免油污、颗粒污染测试机台与芯片样品，支持去离子水、乙二醇、氟化液等多种介质。
✅ 低振动、低噪音，适配洁净车间压缩机、水泵做减震降噪结构优化，运行振动小，不会干扰探针台等精密测试设备，整机噪音低，符合半导体厂房环境要求，可直接放置洁净车间内使用。
✅ 智能控制系统，支持设备互联彩色触控 PLC 操作面板，温度、流量、压力实时显示；具备完整故障自诊断，缺水、高低压、过载、防冻等多重安全保护；标配 RS485、Modbus 通讯接口，可对接产线 MES 系统，实现远程监控、告警输出与数据采集，适配自动化产线。
✅ 持续稳定应对动态热负载针对芯片测试瞬时发热波动特性，具备快速温度动态补偿能力，面对多工位轮番测试、负载突变工况，温度回落响应快，适合大规模芯片批量老化、功能测试场景。
✅ 灵活定制能力强风冷、水冷散热可选；制冷量、温度区间、多通道独立控温、进出液接口规格均可定制；支持出口 CE、SEMI 标准适配，兼容海外电压规格。
应用范围
IC 芯片老化测试、功能测试、可靠性测试
晶圆探针台、测试机台冷却温控
半导体器件、功率半导体、光模块高低温测试
半导体封测产线、芯片研发实验室
半导体测试工装、测试座散热温控
可选定制
常规精度 ±0.5℃ / 高精密版 ±0.1℃ / 超高精度定制版
单通道、双通道、多通道独立控温机型
风冷散热 / 水冷散热两种结构
介质适配：去离子水、乙二醇溶液、氟化液
宽温域版本、防爆版本、出口 CE 标准机型
多组报警触点输出，对接客户上位机